北京杰能达机电设备有限公司
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产品详情
SU-8等离子去胶机
SU-8等离子去胶机的图片
参考报价:
面议
品牌:
北京杰能达
关注度:
13
样本:
暂无
型号:
SU-8等离子去胶机
产地:
北京
信息完整度:
典型用户:
暂无
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高级会员 第 1
名 称:北京杰能达机电设备有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

用于去除SU-8这样的厚光组层

还可以用于各向同性材料蚀刻,例如Si、SiO2、SiOxNy、W、Mo等

不受离子腐蚀的纯化学腐蚀

集成RPS源(遥控/自由基等离子源)

等离子区域水冷

基板超低热负荷

腐蚀速率高(很大范围内不低于200μm/h)

基板尺寸可达460mm x 460mm


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